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陶瓷微孔真空吸盘 POROUS CERAMICS VACUUM CHUCK

规格参数

我公司生产制造的半导体产业用陶瓷微孔真空吸盘 POROUS CERAMICS VACUUM CHUCK

内径尺寸	对应晶圆规格	对应设备商	材质	其它规格
100MM	4英寸	OTHERS	不锈钢，氧化铝微孔陶瓷，碳化硅微孔陶瓷	按客户要求
150MM	6英寸	DISCO，ACCRETECH，OTHERS	不锈钢，氧化铝微孔陶瓷，碳化硅微孔陶瓷	按客户要求
200MM	8英寸	DISCO，ACCRETECH，OTHERS	不锈钢，氧化铝微孔陶瓷，碳化硅微孔陶瓷	按客户要求
300MM	12英寸	DISCO，ACCRETECH，OTHERS	不锈钢，氧化铝微孔陶瓷，碳化硅微孔陶瓷	按客户要求
450MM	18英寸	OTHER	不锈钢，氧化铝微孔陶瓷，碳化硅微孔陶瓷	按客户要求

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