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半导体产业用硅环硅电极 SILICON RING SILICON ELECTRODE

规格参数

我公司生产制造的半导体产业用硅环硅电极 SILICON RING SILICON UPPER ELECTRODE

内径尺寸	对应晶圆规格	对应设备商	材质	其它规格
100MM	4英寸	PANASONIC,HITACH,OTHERS	HIGH PURITY SILICON	按客户要求
150MM	6英寸	PANASONIC,HITACH,OTHERS	HIGH PURITY SILICON	按客户要求
200MM	8英寸	AMAT，LAM，TEL，OTHERS	HIGH PURITY SILICON	按客户要求
300MM	12英寸	AMAT，LAM，TEL，OTHERS	HIGH PURITY SILICON	按客户要求
450MM	18英寸	OTHER	HIGH PURITY SILICON	按客户要求

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