爱科精工(大连)有限公司(ARC PRECISION ENGINEERING CO., LTD.)成立于2019年注资1000万人民币,公司总部位于辽宁省大连市开发区。我公司是一家以生产,研发,销售半导体制造设备的关键零组件及精密仪器的关键零组件为主要业务内容的高新科技制造企业。
本公司的主要产品涉及半导体的前道CMP,CVD,ETCH, WET等工艺,半导体后道DICING等制造工艺,主要产品包括CMP RETAINER RING(保持环),QUARTZ ETCH RING(石英刻蚀环), SILICON ETCH RING(硅刻蚀环),SILICON UPPER ELECTRODE(硅上电极,硅Silicon shower head), CERAMICS ETCH RING(陶瓷刻蚀环),ESC(静电吸盘),陶瓷微孔真空吸盘等,同时面向用户提供半导体行业及精密仪器行业的设备备件的逆向工程服务。
2017年4月 研发半导体CMP工艺用耗材CMP RETAINER RING产品(先期工艺研发)
2018年5月 研发半导体用高精密空气主轴备件,并提供空气主轴的维修服务(先期工艺研发)
2019年2月 研发半导体ETCH工艺用石英材质刻蚀环产品(先期工艺研发)
2019年5月 向日本客户提供200MM及300MM用CMP RETANER RING产品
2019年7月 爱科精工以单独法人成立
2020年9月 开发半导体ETCH工艺用陶瓷及硅材料刻蚀环产品