愛科精工（大連）有限公司----半導体製造装置クリティカル・コンポーネント、部品の製造メーカー

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ポーラスセラミックス真空チャック POROUS CERAMICS VACUUM CHUCK

スペック

弊社は半導体製造用のポーラスセラミックス真空チャックを製造しております。 POROUS CERAMICS VACUUM CHUCK

内径サイズ	ウェハーサイズ	対応設備メーカー	材質	詳細スペック
100MM	4インチ	OTHERS	SUS、ポーラスアルミナ、ポーラスSIC	顧客要求
150MM	6インチ	DISCO，ACCRETECH，OTHERS	SUS、ポーラスアルミナ、ポーラスSIC	顧客要求
200MM	8インチ	DISCO，ACCRETECH，OTHERS	SUS、ポーラスアルミナ、ポーラスSIC	顧客要求
300MM	12インチ	DISCO，ACCRETECH，OTHERS	SUS、ポーラスアルミナ、ポーラスSIC	顧客要求
450MM	18インチ	OTHER	SUS、ポーラスアルミナ、ポーラスSIC	顧客要求

ラストシリコンリング電極

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