愛科精工(大連)有限公司 - 高品質のCMPリテーナリングの製造
CMPリテーナリングとは何ですか、またはCMPリテーニングリング、ウェーハガイドリングなど、CMPリテーナリングは研磨ヘッドの底部に取り付けられ、ウェハを固定し、研磨ヘッドと回転させることでウェハの表面に研磨効果を与えるための重要なCMP機器の部品です。
化学機械研磨(CMP)は、現在の半導体製造において重要なプロセスの1つです。近年、ウェハサイズが大きく、チップサイズが小さく、回路配線が薄くなったことから、製造プロセス中に理想的な被膜の厚さと理想的な面に塗布する要件を得るために、CMPプロセスの周辺部品の精度要件がより厳格になっています。
CMPプロセスでは、CMPリテーナリングがスラリーのさまざまな材料に接触するため、CMPリテーナリングは化学的腐食や摩耗に耐性を持たせる必要があります。また、機械的な負荷に耐えることができ、弾性、靭性、強度が良くなければなりません。ウェハを損傷せずに良品率を増やすために、CMPリテーナリングには非常に高い寸法精度が必要です。
化学機械研磨(CMP)は、半導体製造における重要なプロセスです。ウエハサイズが大きくなり、チップサイズが小さくなり、回路配線が薄くなるにつれて、CMPプロセスの周辺部品であるCMPリテーナリングなどの精度要件はますます厳しくなっています。
当社のCMPリテーナリングは、高品質のエンジニアリングプラスチック材料、PPS、PEEK、PEEK焼き入れ素材を使用して製造され、高い化学腐食耐性と耐摩耗性を確保しています。また、機械的な負荷に耐える必要があり、良好な弾性、韌性、強度を持つ必要があります。ウエハを損傷することなく良品率を向上させるため、当社のCMPリテーナリングは極めて高い寸法精度要件も満たしています。
CMPリテーナリング
当社製品のCMPリテーナリングの製品特徴は以下のとおりです:
1. 原料:高品質のエンジニアリングプラスチック材料、PPS、PEEK、PEEK焼き入れ素材を使用して製造され、高い化学腐食耐性と耐摩耗性を確保しています。
2. 製造プロセス:非常に高い製品フラットネス管理基準に従い、他社製品に比べてCMPリテーナリングによる不必要な異物傷が減少し、ウエハTTV値が向上します。
3. 清掃プロセス:優れた表面処理技術とクリーニング方法を使用し、CMPリテーナリングによる不必要な異物傷を減らします。
4. 価格の優位性:中国の強力な原料供給能力と大量生産に依存して、競合他社製品に比べてより競争力のある価格を提供しています。
5. 共同研究開発:私たちはお客様と緊密に協力し、製品を改良し、お客様の様々なプロセス要件を満たすように努めています。
6.リフレッシュメント:使用済み製品のリフレッシュメントおよび再生サービスも提供しており、顧客の調達コストを削減し、環境に優しいソリューションを提供しています。
7.品質管理:厳格な品質管理策を実施しており、CMP RETAINER RING 製品の一貫性と信頼性を確保しています。製品は出荷前に検査・試験され、私たちの高い基準を満たすようになっています。
8.顧客サービス:当社のチームは、顧客に優れたカスタマーサポートを提供することに全力を注いでいます。私たちはお客様のニーズや要件を理解し、可能な限り期待を超えるよう努めています。
愛科精工(大連)有限公司では、CMP RETAINER RINGを含む最高品質の半導体クリティカルスペアパーツを提供することを約束しています。私たちの製品は、半導体産業の最も厳格な要件を満たすように設計・製造されており、世界中の多くの主要な半導体メーカーの信頼できるパートナーであることを誇りに思っています。
当社のCMP RETAINER RING製品やサービスについてご質問やお問い合わせがございましたら、お気軽にお問い合わせください。私たちはお客様と協力し、半導体製造に必要なニーズを満たすために取り組んでいくことを楽しみにしています。
内径サイズ |
ウェハーサイズ |
対応設備メーカー |
材質 |
溝スペック |
100MM |
4インチ |
東京精密ACCRETECH |
PEEK,PPS, PEEK&SUS, PPS&SUS |
顧客要求 |
150MM |
6インチ |
東京精密ACCRETECH |
PEEK,PPS, PEEK&SUS, PPS&SUS |
顧客要求 |
200MM |
8インチ |
AMAT,EBARA,STRASBAUGH |
PEEK,PPS, PEEK&SUS, PPS&SUS |
顧客要求 |
300MM |
12インチ |
AMAT,EBARA,STRASBAUGH |
PEEK,PPS, PEEK&SUS, PPS&SUS |
顧客要求 |
450MM |
18インチ |
OTHER |
PEEK,PPS, PEEK&SUS, PPS&SUS |
顧客要求 |