愛科精工（大連）有限公司----半導体製造装置クリティカル・コンポーネント、部品の製造メーカー

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半導体製造用シリコンリング、シリコン電極 SILICON RING SILICON ELECTRODE

スペック

弊社は半導体製造用シリコンリング、シリコン電極を製造、販売しております。SILICON RING SILICON UPPER ELECTRODE

内径サイズ	ウェハーサイズ	対応設備メーカー	材質	詳細スペック
100MM	4インチ	PANASONIC,HITACH,OTHERS	HIGH PURITY SILICON	顧客要求
150MM	6インチ	PANASONIC,HITACH,OTHERS	HIGH PURITY SILICON	顧客要求
200MM	8インチ	AMAT，LAM，TEL，OTHERS	HIGH PURITY SILICON	顧客要求
300MM	12インチ	AMAT，LAM，TEL，OTHERS	HIGH PURITY SILICON	顧客要求
450MM	18インチ	OTHER	HIGH PURITY SILICON	顧客要求

ラスト石英エッチングリング

ネクスト　真空チャック