愛科精工(大連)有限公司(ARC PRECISION ENGINEERING CO., LTD.)は2019年に設立、資本金1000万人民元、本社は中国遼寧省大連市経済開発区にあります。当社は、半導体製造装置のクリティカル・コンポーネント、部品と精密機器のクリティカル・コンポーネント、部品の製造、研究開発、販売を主な事業内容とするハイテクメーカーです。

 

当社のメイン制品は、半導体製造前工程のCMP、CVD、ETCH、WETなどのプロセス、半導体の後工程DICINGなどの制造プロセスに関連しており、主要製品はCMP RETAINER RING(CMPリテナーング)、QUARTZ ETCH RING(石英エッチングリング)、SILICON ETCH RING(シリコンエッチングリング)、SILICON UPPER ELECTRODE（シリコン電極 SHOWER HEAD）、CERAMICS ETCH RING(セラミックエッチングリング)、ESC(静電チャック)、ポーラスセラミックス真空チャックなど、半導体業界や精密機器業界のスペアパーツのリバースエンジニアリングも提供しています。

 

   2017年4月半導体CMPプロセス用CMP　RRETANER RING（CMPリテナーリング）の開発

   2018年5月半導体用高精細エアスピンドル部品の開発及びエアスピンドルメンテナンスサービスの提供開始

   2019年2月半導体ETCHプロセス用石英エッチングリング製品の開発

   2019年5月200MM用および300MM用リタナーリングを日本顧客に提供

   2019年7月愛科精工は独立法人として設立

   2020年9月、半導体ETCHプロセス用セラミック・シリコン電極のエッチングリングを開発